先進光學技術暨半導體製程設備開發聯盟

為推動我國綠能科技發展，國家實驗研究院儀器科技研究中心 (儀科中心)「光學系統整合研發聯盟」主導結合全球最大 LED 晶片廠晶元光電、國立中央大學薄膜技術中心以及儀科中心等產學研三方能量，將先進材料石墨烯應用於紫外光發光二極體 (UV-LED) 之製造技術，預期可提升台灣 UV-LED 製造技術水準，達到與美、日大廠並駕齊驅的境界，推估可有超過3.6億元以上的年產值。

為協助我國廠商搶攻國際節能商機，儀科中心聯合我國 LED 磊晶龍頭晶元光電以及中央大學，取得科技部中部科學工業園區管理局高科技設備前瞻技術發展計畫支持，共同執行「開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體」計畫，以更適合 LED 使用的透明電極材料石墨烯 (graphene) 取代氧化銦錫，希望能克服 UV-LED 發光效率降低的問題。

本研究的關鍵技術有二，一是要讓低溫製程 (約 600℃) 的石墨烯可以直接在白金薄膜上生成，以製作電極。中央大學薄膜技術中心李正中教授、郭倩丞助理教授團隊負責開發石墨烯低溫製程，儀科中心則負責讓石墨烯直接在白金薄膜上生成 (此即「電漿輔助高溫原子層沉積系統」)。

第二項關鍵技術是讓此電極可與 LED 的發光層完美結合，這部分由儀科中心和晶元光電共同研發。

本次合作初期將於晶元光電廠內進行測試與驗證，待技術成熟後，將委託儀科中心與中央大學薄膜技術中心技術轉移於設備廠商，進行相關設備製造，建立我國設備自主開發能力。

在全球綠能趨勢下，可預期未來5~10年綠能產業應會快速成長。積極發展前瞻性產業技術、擴大布局海外市場，將有助我國掌握此波國際商機，突破現有產業經濟瓶頸。本次儀科中心、晶元光電以及中央大學整合產學研三方資源，共同執行「開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體」計畫，可以強化我國設備產業競爭力，更可積極拓展歐美日市場，預估年產值將可突破 3.6 億元。