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國儀中心參與清大團隊成果發表,推動雷射複合綠色虛實整合製造技術落地應用
2025/06/04
國儀中心於 6 月 4 日參與國科會工程處以「雷射複合綠色虛實整合製造技術」為主題的成果發表記者會,本次成果發表是國立清華大學動機系李明蒼教授所執行的「高精度三維自由曲面光電半導體元件虛實複合加工技術及系統開發專案計畫」,國儀中心為其子計畫執行單位之一,於計畫中負責技術包括:智能化具感知能力拋光氣體主軸、氣囊式非球面拋光頭表面接觸壓力偵測、研拋主軸關鍵組件理論分析與研拋主軸設計,以及多感測器整合與公板開發等。
該項專案計畫運用各子計畫的即時監控、多目標參數優化、智動化製程設備關鍵模組開發等技術,透過產學研合作,已成功將光電半導體元件研拋與雷射輔助大氣電漿鍍膜技術整合成智慧製造產線,並導入廠商產線中。
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