鄭振華主任

1968–1971
清大原子科學研究所鄭振華所長兼任主任(第一任)

張去疑主任

1971–1975
張去疑教授接任第二任

汪一彪主任

國科會精儀中心

1975–1976

蘇青森主任

國科會精儀中心

1976–1987

王大庚主任

國科會精儀中心

1987–1993

黃文雄主任

國科會精儀中心

1993–2000

陳建人主任

國研院儀科中心

2000–2008

蔡定平主任

國研院儀科中心

2008–2012

葉哲良主任

國研院儀科中心

2012–2017

楊燿州主任

國研院儀科中心

2017–2023