真空技術與應用群 (技術總監 柯志忠研究員、技術副總監 林郁洧研究員)
光學技術與應用群 (技術總監 陳銘福研究員、技術副總監 劉達人研究員)
生醫晶片與系統整合技術群 (技術總監 黃國政研究員、技術副總監 洪敏偉副工程師)
策略營運與對外服務