2004 年 8 月出版
科儀新知 第 141 期
影像顯示器分析技術專題
半導體廠含氮鹼性化合物的直讀監測技術 [ 下載 PDF ]
張寶額
含氮鹼性化合物如氨、有機胺和 NMP 對半導體廠之顯影製程的影響，如 T-topping 和光學儀器鏡面的霧化，甚至對化學性增強光阻之效能的影響，進而造成晶圓的致命缺陷，嚴重地影響製程的良率，甚至延遲正式量產的時間。含氮鹼性化合物對產品、製程的影響，即使是在 ppb 的濃度，就會有具體程度的影響；藉由連續直讀的監測技術，不但可以快速地找出污染問題，同時也可以隨時監控生產環境的空氣品質，建立預警的機制，以預防污染問題的發生。
飛行時間二次離子質譜儀在平面顯示器的應用 [ 下載 PDF ]
陳玟吟, 薛映光, 王瓊棋, 凌永健
飛行時間二次離子質譜儀 (TOF-SIMS) 可同時分析微量元素與有機分子，質量數範圍可由氫原子到分子量上萬的高分子，具奈米縱深分析解析度與 < 100 奈米側向解析度的離子影像性能。TOF-SIMS 可提供樣品表面及不同縱深的化學組成資訊。使用脈衝離子源，電荷累積問題低，可偵測絕緣樣品，每一次的脈衝分析皆記錄全質譜，可轉換成二維或三維化學元素或分子影像圖。本文以 TOF-SIMS 直接分析有機－無機與有機－有機界面、成分的擴散、界層微細化學變化，和元件表面污染物之應用實例，說明其為平面顯示器製程的有效研發和改善之工具。
有機電激發光顯示器之光電分析技術 [ 下載 PDF ]
李榮和
有鑑於有機電激發光顯示器之製程技術在近年來快速發展，並邁入量產及商品化階段，因此作者在此發表有機電激發光顯示器之光電分析技術。首先介紹有機發光顯示器之材料、元件結構、發光原理及電激發光特性，再說明有機電激發光顯示器之量測儀器、方法及特性。最後以小分子發光元件及高分子發光元件之實例作說明，說明有機發光顯示元件之電流特性、亮度、效率、光譜分布、色純度及操作壽命等特性。
Conoscope 的應用－液晶顯示器視角快速量測和晶體光軸取向判斷 [ 下載 PDF ]
陳伯綸
Goniometric 儀器是一種掃描式光學表現量測架構，因為需要旋轉量測待測物或偵測器，此量測方法不適用於大型顯示器，且最大的缺點是量測費時相當久，往往一完整的視角分布圖需耗時數小時之譜。Conoscopic 儀器把待測物量測點來的光，經特殊的轉換透鏡達二維的偵測陣列後，待測物表現之光延伸視角分布錐筒可同步立即分析出。一個標準的 conoscopic 圖的量測時間只約為 200 毫秒，提供最快速的視覺表現評估量測。本文並討論 conoscope 的另一重要應用，為晶體光軸取向判斷，這對於畫素中液晶光軸排列是否如設計運作之判斷有極大幫助。
有機電激發光顯示器技術介紹 [ 下載 PDF ]
林政弘, 陳泰延, 鄭建鴻
近年來由於學術界與產業界的不斷努力，使得有機電激發光顯示器商業化的腳步加快。在本文中我們首先簡介目前有機電激發光之發光機制及發光材料，並比較有機電激發光顯示器常見之主動式及被動式元件在驅動方法及基板製作上的差異，此外針對全彩化顯示器之製作過程加以說明，最後由電極材料選擇、薄膜封裝及光學效應三方面說明頂部放光技術所遭遇到的困難。
透明導電薄膜簡介 [ 下載 PDF ]
潘漢昌, 蕭銘華, 蘇健穎, 蕭健男
透明導電薄膜廣泛應用於平面顯示器與相關光電產品，透明導電薄膜在應用時多做為電極材料，因此本身必須具備高可見光穿透率、低電阻率、良好表面粗糙度、化學穩定性質和高蝕刻速率等重要性質。隨著半導體技術的快速發展以及薄膜技術的逐漸成熟，使得顯示器的發展趨勢朝向更高階產品發展，因此具有良好性質的透明薄膜是一項重要且關鍵必要之元件。本文主旨介紹各種透明導電薄膜製鍍方法，以及在濺鍍法中調整不同摻雜量、基板溫度、濺鍍功率與氧氬氣比例等參數變化時其電性和光性的影響，同時介紹各種薄膜分析方法，考量薄膜電性、元件特性、薄膜製程與材料改質，了解薄膜性質與製程參數之關係，以獲得最佳電光特性之透明導電薄膜。
光擾對掃描電容顯微術之影響分析 [ 下載 PDF ]
張茂男, 羅吉志, 陳志遠, 貢中元
為符合50 奈米以下之研究與工業應用的需求，自掃描電容顯微術延伸而來的掃描電容圖譜技術已被發展，以提供完整的微分電容特性。本文將介紹掃描電容顯微鏡之光擾對掃描電容圖譜分析的影響，並說明光擾所導致的電性接面分析誤差。
表面聲波生化感測器原理與應用技術 [ 下載 PDF ]
楊啟榮, 李清鋒, 施建富
隨著通訊產業的蓬勃發展，表面聲波元件在通訊產業應用最為顯著，因表面聲波濾波器具有體積小、重量輕、低成本、製程與 IC 技術相容性高及高性能濾波功能等優點，並且可以針對各項需求選用不同的壓電材料，製成適用不同波段的濾波器，是目前無線通訊系統和手機的關鍵零組件。除了在訊號處理方面表現突出之外，近十年來，表面聲波元件以其高質量靈敏度的優異特性，更進一步應用於生化感測領域。本文將針對生化感測之表面聲波元件作一詳細介紹，首先簡介表面聲波元件的發展及原理，並敘述各種不同聲波型式之表面聲波感測元件的波傳遞方式、質量靈敏度、應用實例、製作與量測方式，以及氧化鋅薄膜在拉福波感測元件之應用。
全晶圓式歐傑電子質譜缺陷檢測分析設備的性能與應用 [ 下載 PDF ]
董立德
本文主要是介紹 90 年代中期所開發的 SMART™ 系列設備，這是一台集 full wafer AES、EDS、FIB 等技術於一身的半導體缺陷檢測及材料表面分析設備 (defect review tool andsurface analysis tool, 簡稱 DRT)，文中將對半導體缺陷檢測流程、設備設計原理、機構性能與分析應用作概略的說明。
非球面干涉儀之應用 [ 下載 PDF ]
歐陽盟, 劉信烓
近年來光電產業由於受到顯示技術、電腦資訊及光通訊工業大幅成長的影響，已成為二十一世紀高科技產業中的明星工業。而在光電工業中居關鍵性地位的光電元件的發展，更是影響產業發展的最重要因素。而光學鏡片為了追求輕薄短小，許多設計也加入了非球面之設計，因此如何快速且準確的量測非球面鏡，變成推動光電工業再一步前進的重要課題。本文提出一種新型的偏極式剪切干涉儀系統概念，嘗試解決傳統無法突破問題的瓶頸，期待能有效率及精準的量測，進而改進非球面鏡片生產時間及良率，降低成本、提高品質。
