1996 年 12 月出版

科儀新知 第 95 期

微機電系統專題

微系統技術的挑戰

黃瑞星

微機電系統技術簡介

吳清沂, 鍾震桂

X 光深刻術簡介

程曜

CMOS 微感測器之設計與製造

戴慶良, 張培仁, 劉深淵

微精密機械生產製造系統發展簡介

郭佳儱

微機械製造結構於薄膜殘餘應力量測之應用

方維倫

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掃描穿隧顯微術的原理及應用

黃英碩

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氣體分析儀及感測器的校正及不確定度評估

吳仁彰

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我國精密科學儀器進出口市場現況分析與趨勢研究 (下)

林暉雄